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内容简介:
《微机电器件设计、仿真及工程应用》对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上,以微机电系统中常用的核心器件为对象,结合大量工程实例,采用Ansys软件,详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法,包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等,为在有限元仿真技术方面的相关研究提供了一定的技术支持。 《微机电器件设计、仿真及工程应用》可作为从事MEMS研究的设计人员的参考书,也可作为相关专业研究生的教材。
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书籍介绍
《微机电器件设计、仿真及工程应用》对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上,以微机电系统中常用的核心器件为对象,结合大量工程实例,采用Ansys软件,详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法,包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等,为在有限元仿真技术方面的相关研究提供了一定的技术支持。 《微机电器件设计、仿真及工程应用》可作为从事MEMS研究的设计人员的参考书,也可作为相关专业研究生的教材。
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书籍清晰度:9分
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书籍真实打分
故事情节:9分
人物塑造:7分
主题深度:4分
文字风格:8分
语言运用:5分
文笔流畅:6分
思想传递:8分
知识深度:9分
知识广度:4分
实用性:5分
章节划分:6分
结构布局:7分
新颖与独特:7分
情感共鸣:9分
引人入胜:9分
现实相关:7分
沉浸感:4分
事实准确性:6分
文化贡献:5分